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お詫びと訂正（正誤表）
本書の以下の部分に誤りがありました。ここに訂正するとともに、ご迷惑をおかけしたことを深くお詫び申し上げます。
P.25 表2-1 K1ファクタ
| 誤 | ArF Dry 248nm |
|---|---|
| 正 | ArF Dry 193nm |
P.63 9行目の式（2-10）の前半部
| 誤 | 2d sinθ × λ/n |
|---|---|
| 正 | 2d sinθ = λ/n |
P.136 表4-3-1
本文中に出てくる「表4-3-1」が欠如しておりました。
以下のPDFファイルが「表4-3-1 露光装置3社のEUV光源に対する共通要求仕様」になります。